Sistem procesne hladilne vode sestavljajo naslednji deli: hladilniki, črpalke, izmenjevalniki toplote, rezervoarji za vodo, filtri in procesna oprema.
Hladilnik vode: Zagotovite vir hladu za sistem hladilne vode.
Vodna črpalka: ustvarite pritisk vode, da zagotovite njeno kroženje v hladilnem sistemu.
Toplotni izmenjevalnik: uporabite to opremo za izmenjavo toplote med sistemom ohlajene vode in sistemom ohlajene vode za prenos toplote, ustvarjene na strani obremenitve sistema, v sistem ohlajene vode.Obstaja veliko vrst toplotnih izmenjevalcev, ki jih glede na obliko lahko razdelimo na oklepne, ploščate, ploščate, toplotne cevi itd.Za primerjavo ima ploščni izmenjevalnik toplote prednosti majhnega odtisa in velike površine prenosa toplote.Ob upoštevanju stroškovnih značilnosti prostora in površinev tovarni polprevodnikov je prednostna oprema z majhno površino, da se prihrani površina in stroški inženiringa.
Rezervoar za vodo: rezervoar za vodo v odprtem sistemu igra predvsem vlogo dopolnilnega vira vode.Rezervoar za vodo v zaprtem sistemu mora izbrati ekspanzijski rezervoar za vodo.Ekspanzijska posoda za vodo ima tri funkcije.Ena je zadrževanje in kompenzacija širjenja in krčenja vode v sistemu;drugi je zagotavljanje stabilnega tlaka v zaprtem krožečem vodnem sistemu in igra vlogo pri stabilizaciji sistema;Tretji je kot indikacija sistemske vodne črpalke, običajno ekspanzijska posoda pošlje signal za zagon ali izklop sistemske vodne črpalke.
filter: filtrirajte trdne delceV sistemu procesne hladilne vode sta dva relativno neodvisna sistema, ohlajena voda in hladilna voda.Ohlajeno vodo zagotavlja hladilnik, ohlajena voda in hladilna voda pa izmenjujeta toploto za hlajenje hladilne vode in znižanje temperature opreme.Voda se črpa iz proizvodne opreme skozi vodno črpalko v toplotni izmenjevalnik, da se zagotovi temperatura procesne hladilne vode z nadzorom količine ohlajene vode, nato pa se po prehodu filtra pošlje v opremo proizvodne linije in nato nazaj v vodna črpalka.Voda za hlajenje procesa nastajanja večkrat kroži.Ohlajena voda se vrne neposredno v hladilnik.